電子部品・MEMS関連装置
オリジナル製品
自動露光装置・フルオートマスクアライナー
半導体素子デバイス・電子部品・MEMS製造などフォトリソグラフィーを必要とする研究開発分野において、微細度の高いパターン露光ができる量産向け全自動マスクアライナーです。
オリジナル製品
半自動露光装置
半導体素子デバイス・電子部品・MEMS製造などフォトリソグラフィーを必要とする研究開発分野において、微細度の高いパターン露光ができる多品種量産用の半自動露光装置です。
オリジナル製品
マニュアル露光装置
半導体素子デバイス・電子部品・MEMS製造などフォトリソグラフィーを必要とする研究分野において、微細度の高いパターン露光ができるコンタクト露光装置です。
オリジナル製品
スプレーコーター・スピンコーター
半導体製造用レジストをウエハー等の試料基板に塗布する装置です。レジスト以外にもコーティングや絶縁膜形成など、さまざまな用途でのご使用も可能です。
オリジナル製品
表裏面内部凹凸欠陥検査装置
MuraViewerⅡ
主に、半導体・化合物半導体、半導体加工品、透明体の表面・裏面・内部を可視化する外観検査装置です。光を反射する鏡面体、光を透過する透明体が検査対象です。
オリジナル製品
アライメント仮止め装置
微小な構造物やパターニングのあるガラス、シリコン基板など2枚の試料を高精度でアライメント（位置合わせ）して仮固定する装置です。
オリジナル製品
マイクロコンタクトプリンター
Micro contact Printing法や簡易的な光ナノインプリント（UV-NIL）法に対応するマイクロコンタクトプリント装置です。
オリジナル製品
ナノインプリント装置
基板に感光性の樹脂を塗布し、モールドを押し当てた状態で樹脂を硬化させることでパターンを形成するインプリント装置です。
オリジナル製品
ウエハ自動外観検査装置
SIMシリーズ
半導体・化合物半導体、半導体加工品、透明体に加え、フィルムの検査も可能です。サンプルテストも可能ですのでお気軽にお問い合わせください。