ナノインプリント装置

基板に感光性の樹脂を塗布し、モールドを押し当てた状態で樹脂を硬化させることでパターンを形成するインプリント装置です。光学デバイス、MEMS、光通信デバイス、回折格子、マイクロレンズ、マイクロ流体デバイス、DNA解析用バイオチップなど、さまざまな分野でご使用いただけます。露光の方式では実現できないハーフミラーが形成できることが特徴です。

高精度転写を実現するうえで重要なコンタクトについて、Z軸機構に特殊な構造を組み込んでいるため微細パターンもキレイに転写が可能です。加えて離型の際にも低残膜を実現しました。大型樹脂モールドを使用したロール転写方式で、一括全面転写が可能。また、高精度な転写圧力制御で、追加オプションとして加熱機構をご用意しております。