電子部品・MEMS関連装置
電子部品半導体MEMS学術研究

露光装置

自動露光装置3

MEMS / 自動露光装置 

電子部品メーカー様にMEMS用途フルオートマスクアライナーをご採用いただきました。
・使用製品:自動露光装置・フルオートマスクアライナー

電子部品製作 / 手動露光装置

電子部品メーカー様に電子部品製作用途でご採用いただきました。カスタム性の高さに加え、操作性の良さもご評価いただき、受注に至りました。 
・使用製品:マニュアル露光装置

電子部品製作研究 / 手動露光装置

研究機関様に、電子部品製作の研究用途にてご採用いただきました。カスタム性の高さとコスト面の優位性で評価をいただいております。 
・使用製品:マニュアル露光装置

マイクロ流路形成 / 手動露光装置

研究機関様にマイクロ流路の形成において、マニュアルマスクアライナーをご採用いただきました。ローコストであることが採用の決め手となりました。
・使用製品:マニュアル露光装置

積層基板成型 / 手動露光装置

半導体メーカー様に積層基板形成用途にてご採用いただきました。多様なワークに対応可能な汎用性の高さを評価いただき、事前検証で良好な結果が得られたことから採用に至りました。
・使用製品:マニュアル露光装置

パターニング / 手動露光装置

MEMSメーカー様に立体構造物へのパターニングにご採用いただきました。特殊形状に対応したカスタム 設計を高くご評価いただいております。 
・使用製品:マニュアル露光装置