露光装置
オリジナル製品
自動露光装置・フルオートマスクアライナー
半導体素子デバイス・電子部品・MEMS製造などフォトリソグラフィーを必要とする研究開発分野において、微細度の高いパターン露光ができる量産向け全自動マスクアライナーです。
オリジナル製品
半自動露光装置
半導体素子デバイス・電子部品・MEMS製造などフォトリソグラフィーを必要とする研究開発分野において、微細度の高いパターン露光ができる多品種量産用の半自動露光装置です。
オリジナル製品
マニュアル露光装置
半導体素子デバイス・電子部品・MEMS製造などフォトリソグラフィーを必要とする研究分野において、微細度の高いパターン露光ができるコンタクト露光装置です。