検査システム
オリジナル製品
表裏面内部凹凸欠陥検査装置
MuraViewerⅡ
主に、半導体・化合物半導体、半導体加工品、透明体の表面・裏面・内部を可視化する外観検査装置です。光を反射する鏡面体、光を透過する透明体が検査対象です。
オリジナル製品
曲面外観検査ロボット
曲面外観検査ロボット（三明×デクシス）
大型・曲面ワークをカメラを持ったロボットで走査型検査（高速検査）いたします。
オリジナル製品
外観検査withロボット
EYESBOT
お客様のニーズに沿ったロボットによる外観検査により、検査だけでなくパレタイズ、デパレタイズ、整列、組み立て、段積み、箱詰め、ねじ締め、挿入などの作業も省スペースで自働化を可能としました。
AI外観検査向けソリューション
AlliomVision（株式会社エイアイキューブ）
疑似的な不良画像を生成することで少量の不良品（データ）から外観検査AIを生成。外見検査工程へのAI活用を加速させます。
外観検査ユニット
i-WRIST（NTN株式会社）
人の手首のようななめらかな姿勢変更により、複数方向・複数箇所の検査を連続して行えます。
オリジナル製品
ウエハ自動外観検査装置
SIMシリーズ
半導体・化合物半導体、半導体加工品、透明体に加え、フィルムの検査も可能です。サンプルテストも可能ですのでお気軽にお問い合わせください。