アライメント仮止め装置

微小な構造物やパターニングのあるガラス、シリコン基板など2枚の試料を高精度でアライメント（位置合わせ）して仮固定する装置です。

観察方法は表面観察、裏面観察に対応。使用光学系は可視光、近赤外光を搭載可能。さまざまな材料に対応が可能です。

仮止め方法もさまざまですが、主には下記の４種類がございます。

• 重なった2枚の試料外周部をクリップで挟むメカクリップ固定方式
• 試料をセットする試料ホルダごと、重なった2枚の試料を固定するメカクランプ固定方式
• 2枚の試料の間にUV硬化樹脂などのケミカル材料をあらかじめ塗布して固定するケミカル材料固定方式
• シリコンウエハーの表面間引力を利用した直接接合による固定方式

2枚の試料を仮固定させたのち、ステージ治具ごと次のプロセスに運んでご使用いただくことが可能です。おもに「次の工程で高精度な位置合わせが必要なのにアライメントが難しい」という場合や、「一定気体中で高精度なアライメントが必要」という場合の前段として、有効にご使用いただけます。基板サイズやご希望の仮固定方式に合わせた治具の設計、後工程のプロセスに合わせて材料の選定を行い製作しております。