「MEMSセンシング&ネットワークシステム展 2020」ではパターンニング技術と微細検査技術ご紹介致します。
是非当社ブースにご来場ください。

会期:1月29日(水)–31日(金) 10:00–17:00(3日間共通)
会場:東京ビッグサイト (西展示棟・南展示棟・会議棟)

「MEMSセンシング&ネットワークシステム展 2020」ホームページ

三明ブース:西2ホール T06

デモ機展示

『ムラビューワー』
目視では観察の難しいマクロのムラ・キズ・異物を可視化する装置です。ガラス・フィルムのような透明試料から、Siウェハのような不透明試料の観察も可能です。また、試料をお持ちいただければその場で撮像も対応可能です。

動画展示
『手動マスクアライナー:片面・裏面・両面の各種アライメントに対応、特殊仕様にも柔軟に対応』
『接合用アライメント装置:Si・ガラス・フィルム・金属など様々な試料のアライメントを実現』
『自動マスクアライナー:CtoCの自動露光機、片面・裏面アライメント対応』